低溫等離子體廢氣處理技術：
低溫等離子體分為四大類：雙介質阻擋放電等離子體設備、單介質阻擋放電等離子體設備、尖端毛細放電等離子體設備、平行極板等離子體設備。引進前蘇聯(lián)軍工高頻高壓大功率變壓器技術，是目前國內少數(shù)掌握高頻高壓油浸式變壓器技術的企業(yè)，奠定低溫等離子體大功率輸出的技術基礎。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中,等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
低溫等離子體去除污染物的原理：
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領域中的一項具有極強潛在優(yōu)勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
等離子體有機廢氣處理器工作原理：
等離子體被稱為物質第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。
等離子體有機廢氣凈化器工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約8eV的大量電子作用下，使通過處理器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。
在處理過程中，當有機氣體進入等離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室。反應室分成模塊式管子區(qū)，每根管子的中央有一根放電極，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節(jié)高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現(xiàn)象。
一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化”
過程一：高能電子直接轟擊
過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片
O2 + 2e → 2O·
O2 + O·→ O3 + e
H2O + 2e → H·+ HO·
H2O + O·+ e → 2HO·
H·+O2 → HO·+ O
C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2e → CaHmOx·+ CbHnOy·
過程三：分子碎片氧化
CaHmOx + HO·→ CO2 + H2O
CaHmOx + O·→ CO2 + H2O
CaHmOx + O2 → CO2 + H2O
CaHmOx + O3→ CO2 + H2O
經過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關反應機理如下：
H2O + e → H·+ HO·+ e
H·+ O3 → O2 + HO·
HO·+O3 → HO2·+ O2
HO2·+ O3 → HO·+ O2
因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
